真空馈通Feedthrough排除故障方法

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当真空馈通Feedthrough在使用过程中出现故障时，可以通过以下方法进行排除：

检查真空系统的泵：当真空馈通的真空度下降时，首先要检查真空系统的泵是否正常工作。如果泵工作不正常，需要修理或更换泵。

检查气密性：如果真空馈通连接处发生气泄漏，需要检查连接处的气密性。可以使用气密性检测仪器进行检测，找出漏点并及时修复。

检查真空馈通材质：如果真空馈通在高温、高真空度等特殊环境下使用，可能会出现材质失效的问题。此时需要检查真空馈通的材质是否适合使用环境，是否需要更换材质。

检查管道连接：当真空馈通连接的管道发生变形或受到撞击等情况时，可能会导致真空馈通损坏。此时需要检查管道连接情况，如果有变形或损坏，需要及时更换或修复。

检查真空馈通内部：当真空馈通内部存在杂质或损坏时，可能会影响真空度和泄漏。此时需要将真空馈通拆卸，清洗并检查内部情况，如果存在杂质或损坏，需要进行修复或更换。

通过以上方法，可以快速找出真空馈通的故障并进行排除。在排除故障后，需要对真空系统进行重新检测，确保系统稳定可靠。

N型热电偶Sub-D馈通 

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