真空馈通Feedthrough出现泄露怎么办

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如果真空馈通Feedthrough出现泄露，需要及时检查并修复泄漏源。以下是一些可能导致真空馈通泄漏的原因和应对方法：

接头密封不良：检查接头处是否有松动或损坏，并重新安装和密封。

O形密封圈老化或损坏：更换O形密封圈并确保密封圈符合规格。

真空管道松动或损坏：检查真空管道是否有松动或损坏，如有必要，更换或重新紧固管道。

气压或真空泵故障：检查气压或真空泵是否正常工作，如有必要，修复或更换。

真空管道内部杂质：清理真空管道内部的杂质。

在修复完潜在的泄漏源之后，应该重新测试并确认真空度是否恢复正常。

Sub-D真空馈通

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