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真空电极(Feedthrough)法兰的作用主要是在真空系统中实现电极与真空系统之间的密封连接。法兰通常由两个部分组成:法兰本体和密封垫。法兰本体是连接电极和真空系统的部分,而密封垫则用于在法兰本体与电极之间提供一个密封界面,以确保真空环境的密封性。
在真空系统中,法兰的密封作用非常重要,因为任何气体泄漏都会导致系统的真空度下降。电极法兰的质量和密封性能决定了整个真空系统的性能和可靠性。因此,在设计和制造真空电极时,需要选择高质量、高真空兼容性的材料,并采用适当的工艺措施来确保法兰的密封性能。此外,需要进行严格的泄漏测试和质量控制来验证法兰的密封性能。
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