真空馈通Feedthrough连接方法

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真空馈通Feedthrough的连接方式通常采用法兰连接的形式，其连接方法具体步骤如下：

1、确定连接法兰的规格和型号，如ISO、KF、CF等。

2、清洗连接法兰的表面，确保其表面光滑、无杂质。

3、将两个法兰对准，使其螺孔对应。

4、插入法兰螺栓，并用手或扳手逐个旋紧，保证法兰连接紧密。

5、逐步用扭力扳手将每个螺栓扭紧，直到达到规定的扭矩值，确保法兰连接牢固。

6、在连接法兰的密封面之间涂抹一层真空密封剂，如石墨涂料、硅橡胶等，以确保真空密封。

真空馈通法兰连接时需要保证连接部位干净、光滑，使用合适的密封剂和扭矩扳手进行扭紧，避免过紧或过松导致泄漏或损坏。

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