泛半导体铝合金腔体法兰解决方案（一）：钛法兰与铝合金颈部组合方案

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本文介绍采用钛合金制造CF法兰、铝合金制造法兰颈部的方案。钛合金法兰满足硬度要求的同时，铝合金颈部便于与铝合金腔体进行焊接。由于钛和铝的磁性较弱，使用这两种材料制成的组件是实现无磁性腔体的选择。

麦迪森科技提供的钛与铝组合可旋转法兰，具有通孔和螺纹孔两种形式，可通过螺丝固定，提供足够的灵活性。此外，旋转法兰的外部零件可选其他形状，以便在需要时使用链型夹具，从而缩短操作时间，这通常在辐射环境中尤为重要。

在高真空或超高真空环境中，使用钛和铝合金制成的组件具有以下优势：

1.低漏气率：钛和铝的漏气速率均较低，这对于高真空和超高真空（UHV）系统至关重要。使用这些材料制成的组件可减少污染，维持更清洁的真空环境。

2.高强度与耐用性：钛金属具有优异的强度重量比和耐腐蚀性，能够承受高真空环境中的应力和机械负载，是制造真空组件的理想选择。

3.兼容UHV环境：钛金属具有较低的蒸气压，并且与腔体内残余气体的反应性较小，因而能够兼容UHV环境，这对于维持UHV系统的完整性尤为关键。

4.使用寿命长：与易放气或腐蚀的材料相比，钛制组件在高真空和UHV系统中的使用寿命更长。同时，铝合金相比不锈钢价格较低，长期使用下，钛和铝制组件的成本效益更高。

5.生物相容性：钛的生物相容性在某些科学和医学应用中非常有价值，可以用于在UHV环境中与生物材料相关的表面科学研究中。

钛材料的先进表面工程

来源：https://doi.org/10.1016/j.bioactmat.2023.03.006

6.功能多样性：钛的功能多样性使其在真空腔体、实验装置以及各种UHV研究设备领域中具有广泛的应用。

钛制真空腔体

此外，由钛和铝合金制造的法兰系统可以直接装配在铝制腔体上，并可与市场上现有的所有CF密封圈兼容。

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