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爱德华涡轮分子泵通常对气体负载和水蒸气比较敏感。下面是一些涡轮分子泵处理气体负载和水蒸气的方法:
气体负载:
过载保护: 涡轮分子泵通常设计有过载保护系统,可以防止由于气体负载过大而导致泵性能下降或损坏。一些型号可能配备了自动停机或其他保护功能,以避免过载。
冷却系统: 涡轮分子泵通常需要冷却系统来降低运行温度。这有助于防止因为气体负载而导致的过热问题。
水蒸气处理:
附加泵: 在真空系统中,特别是在处理含有水蒸气的气体时,通常使用附加的泵来辅助涡轮分子泵。例如,可以使用吸附泵或扩散泵来处理水蒸气。
气体冷凝: 在真空系统的前端,可以采取措施来冷凝水蒸气,使其转化为液体形式并被移除。这有助于减轻对涡轮分子泵的影响。
真空系统设计:
预处理: 在涡轮分子泵之前使用其他真空泵,如吸附泵或扩散泵,可以有效地去除大部分气体和水蒸气,减轻涡轮分子泵的负担。
气体冷降: 在真空系统中使用气体冷降,将气体冷却到较低温度,有助于凝结和去除水蒸气。
以上就是北京麦迪森科技有限公司提供的NEXT涡轮分子泵如何处理气体负载和水蒸气的介绍。