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高真空干泵是一种用于创建和维持高真空环境的真空泵。与传统的润滑剂或油封真空泵不同,高真空干泵使用干式(无润滑剂)或半干式(少量润滑剂)的工作原理,因此被称为"干式真空泵"或"无油真空泵"。
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高真空干泵的工作原理基于排气腔和旋转机构的组合。主要包括以下几个关键组件:
排气腔:排气腔是干式真空泵的主要工作区域。它通常由一对旋转的叶片(Rotor)和静止的外壳(Stator)组成,形成多个腔室。
旋转机构:旋转机构驱动叶片进行旋转,通常通过电机或驱动装置提供动力。
气体进出口:气体通过进口进入排气腔,并通过排气口被排出。
高真空干泵的工作过程如下:
开始时,排气腔中的腔室与进气口相连,形成低真空状态。
旋转机构驱动叶片开始旋转,产生离心力。离心力将气体从进气口向腔室外部推送,从而增加了排气腔的压力。
当排气腔的压力达到一定水平时,气体会被推到排气口并排出系统,从而减小了排气腔内的压力。
旋转的叶片不断与腔室相遇,将气体进行排出,从而提高排气腔的真空度。
高真空干泵的工作原理使其能够实现无油、无润滑剂的真空抽取过程。这些泵通常具有较高的抽取速度和较低的污染风险,适用于对干净的高真空环境要求较高的应用。同时,由于无需使用润滑剂,高真空干泵也更易于维护和操作。不过,由于无油设计,某些高真空干泵在某些应用中可能会受到气体或水蒸气的限制,因此在选择和使用时需要考虑特定的应用需求和工作条件。
以上就是北京麦迪森科技有限公司提供的高真空干泵的工作原理。