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NEG吸气剂泵是一种真空技术中常用的非蒸发型吸气设备。它通过特殊的吸附剂材料,有效地降低真空系统的气体压力。这种泵通常用于维持高真空或超高真空环境,适用于实验室设备、粒子加速器、半导体制造等领域。
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以下是 NEG 吸气剂泵的一些关键特点和工作原理:
Getter效应: NEG吸气剂泵的核心是吸附剂,它的表面具有强烈的getter效应。Getter效应是指吸附剂表面对气体分子有高度亲和力,使得气体能够被吸附在表面上。
吸附剂材料: NEG吸气剂泵的吸附剂通常采用一种或多种金属合金,如钛合金(Ti-Zr-V)或锆合金。这些材料在表面上形成一层特殊的薄膜,具有很强的吸附性能。
非蒸发性: 与一些传统的真空泵不同,NEG 吸气剂泵是非蒸发型的。这意味着吸附剂表面上的气体不会再次蒸发成为气体,而是固定在吸附剂表面上。
工作温度: NEG吸气剂泵通常在室温至几百摄氏度的范围内工作。在一些应用中,可能需要对吸附剂进行加热以激活getter效应,但并非所有系统都需要。
适用气体: NEG吸气剂泵对多种气体都具有较好的吸附效果,包括氢气、氦气、氮气、氧气、水蒸气等。这使得它在不同应用场景中都能够有效地降低气体压力。
真空环境: NEG吸气剂泵通常用于高真空和超高真空的环境,可维持系统在非常低的气体压力下运行。
应用领域: NEG 吸气剂泵广泛应用于实验室设备、粒子加速器、半导体制造等领域,其中需要维持高度纯净的真空环境。
寿命: NEG吸气剂泵通常具有较长的寿命,能够长时间稳定地工作,这取决于使用环境和操作条件。
以上就是北京麦迪森科技有限公司提供的Agilent安捷伦NEG吸气剂泵的介绍。