Agilent安捷伦-NEG吸气剂泵的工作原理是什么

NEG吸气剂泵的工作原理基于吸附剂表面的getter效应，通过将气体分子吸附在表面上，从而有效地降低真空系统的压力。以下是NEG吸气剂泵的工作原理的简要说明：

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NEG吸气剂泵

吸附剂材料： NEG吸气剂泵的核心是吸附剂，通常采用一种或多种金属合金，如钛合金（Ti-Zr-V）或锆合金。这些材料的表面具有高度活性，能够吸附气体分子。

Getter效应： 吸附剂表面上的getter材料具有强烈的亲合力，吸引气体分子吸附在其表面上。这种效应被称为getter效应，使得气体分子能够紧密附着在吸附剂表面。

非蒸发性： NEG吸气剂泵是一种非蒸发性的系统，与传统的蒸发源不同，它不会释放蒸气。相反，吸附剂将气体分子吸附在表面上，并将其“固定”在那里。

运行温度： NEG吸气剂泵通常在室温至几百摄氏度的范围内工作。在一些应用中，可能需要对吸附剂进行加热以激活getter效应，但并非所有系统都需要加热。

吸附气体种类： NEG吸气剂泵对多种气体都具有较好的吸附效果，包括氢气、氦气、氮气、氧气、水蒸气等。这使得它在不同应用场景中都能够有效地降低气体压力。

真空系统中的位置： NEG吸气剂泵通常安装在真空系统中的气体流通路径上，确保气体分子能够接触到吸附剂表面，从而被有效吸附。

有效抽速： NEG吸气剂泵的抽速取决于吸附剂的面积和性能。吸气剂的大面积和吸附效果可以在相对短的时间内将气体从系统中吸附出去。

寿命： NEG吸气剂泵通常具有较长的寿命，可以达到数年或更长时间，这取决于使用环境和操作条件。

以上就是北京麦迪森科技有限公司提供的Agilent安捷伦NEG吸气剂泵工作原理的介绍。