超高真空闸阀允许漏率是多少？

问：超高真空闸阀允许漏率是多少？

答：漏率过大对真空系统的影响较大，通常真空闸阀对漏率都有所要求，其中超高真空闸阀的允许漏率为< 1×10^-10 mbar ℓ/sec。

超高真空闸阀

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